股东基本信息
| 股东 | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
|---|---|
| 股东类型 | 外商/港澳台投资企业 |
| 证照/证件类型 | 企业法人营业执照(外资) |
| 证照/证件号码 | 913101********2806 |
| 认缴额（万元） | 126.2745 |
| 实缴额（万元） | 0 |
股东出资信息
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| 股东 | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
|---|---|
| 股东类型 | 外商/港澳台投资企业 |
| 证照/证件类型 | 企业法人营业执照(外资) |
| 证照/证件号码 | 913101********2806 |
| 认缴额（万元） | 126.2745 |
| 实缴额（万元） | 0 |
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