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一种高频感应等离子发生器【异议或纠错】

档案编号: CQ-688-3081-0702
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H05H1/30类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型涉及一种高频感应等离子发生器,是一种新型结构的用于多晶硅提纯的高频感应等离子体发生器。该发生器是由内外两层同轴石英管、工作气体进气口、保护气体进气口、切线进气口和进气口组成,采用氩气来冷却等离子发生器提高了安全性的同时还保证了氧化性气分的稳定均匀进入发生器,产生稳定均匀的等离子体,即解决了多晶硅提炼过程中易受到污染的问题,又能保证在生产过程中的安全性。该发生器能够提供稳定、可靠离子束,具有不产生污染物质、耐高温,绝缘性好,不易损坏,气流平稳均匀,保证发生器不被烧坏和等离子体均匀产生排出,更好发挥等离子体的作用。
附件下载:  (原始资料备查)

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