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一种用于单晶炉真空除尘过滤的系统【异议或纠错】

档案编号: CQ-693-7502-3781
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C30B35/00类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种用于单晶炉真空除尘过滤的系统,包括安全充气阀、过滤罐盖、过滤罐体、蜂窝状超细纤维纸、铝合金内筒、进气口和出气口,所述过滤罐体上设有可开启式过滤罐盖,过滤罐盖上设有安全充气阀,过滤罐体内设有铝合金内筒,所述蜂窝状超细纤维纸固定在铝合金内筒上,过滤罐体的下面设有出气口,过滤罐体的侧面设有进气口。本发明采用蜂窝状的超细纤维纸做为过滤介质,能够过滤更细小的杂质,同时蜂窝状的结构,使其过气面积大大增加,提高了过气效率。对于过滤更多更小的杂质,减少真空泵油的用量,延长真空泵的使用寿命,提高单晶炉内真空度,具有十分重要的意义。
附件下载:  (原始资料备查)

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