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一种减少用酸的二极管酸洗工艺【异议或纠错】

档案编号: CQ-718-3501-0156
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01L21/02;H01L21/78;H01L23/29类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种减少用酸的二极管酸洗工艺,包括以下步骤:将已完成扩散的二极管扩散圆片作为基片,在二极管扩散圆片的正反面上均涂覆上防腐涂料,形成防腐层,然后送入烘箱中进行烘干;对涂覆后的二极管扩散圆片进行切割;将涂有防腐层的芯片放入酸洗池中进行酸洗处理;将酸洗后的芯片放入清洗池中,使用溶剂进行清洗,清洗后的芯片送入烘箱中干燥;将干燥后的芯片进行组装、焊接处理,得到二极管并对二极管产品进行封装。本发明的用酸量大大减少,减少了对环境的污染,降低了生产成本,同时也减少了废酸净化处理的费用。
附件下载:  (原始资料备查)

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