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垂直腔面发射激光器的结构及制造方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-870-9422-9431
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01S5/183;H01S5/187类
授权状态: 已授权
档案内容: 本申请公开了一种垂直腔面发射激光器的结构及制造方法,其中方法包括:分别形成第一反射器层、氧化层、发光层及第二反射器层,发光层具有至少一个发光区域;于各发光区域的正上方形成圆形电隔离保护区,对电隔离保护区外的区域进行质子或离子隔离注入以形成电隔离区域,电隔离区域至少覆盖所述发光区域外侧的氧化层。上述方案,电隔离区域的覆盖区域对电流的流经路径进行局限,使得一个发光区域的正、负电极、施加电压后,电流经该电隔离区域所环绕的非绝缘区域,而不会流经到电隔离区域之外,提高了激光器的可靠性。同时,各发光区所流经的电流均匀,使得各发光区的亮度一致性高,提高了垂直腔面发射激光器的品质。
附件下载:  (原始资料备查)

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