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一种体声波滤波器及其制作方法和集成芯片【异议或纠错】

档案编号: CQ-062-8245-0168
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H03H9/02;H03H9/17;H03H9/64类
授权状态: 已授权
档案内容: 本申请公开了一种体声波滤波器及其制作方法和集成芯片,所述体声波滤波器包括衬底、压电层、上电极和下电极,所述压电层设置在所述衬底上,包括单晶氮化铝薄膜和中间层,所述中间层设置在所述衬底和单晶氮化铝薄膜之间,且所述中间层为所述单晶氮化铝薄膜提供生长环境,以减小所述衬底和单晶氮化铝薄膜之间的应力和晶体缺陷。采用单晶氮化铝薄膜作为压电层,将使体声波滤波器能够满足5G通信对更高的带宽和更好的性能的要求;另外,本申请还提出了减少或消除位错缺陷、晶圆翘曲和龟裂等缺陷的方法,制作高质量的单晶氮化铝压电层,进一步提高了体声波滤波器的性能、产品良率及可靠性。
附件下载:  (原始资料备查)

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