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蓝宝石衬底切割片再生加工方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-085-6232-1001
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第B24B7/22;B24B41/06;B24B49/12类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明提供的一种蓝宝石衬底切割片再生加工方法,涉及半导体技术领域,步骤如下:a、选取待加工的衬底切割片;b、将衬底切割片的单面固定于万向平台上;c、通过研磨砂轮对所述衬底切割片的待加工面上具有厚度差异、表面晶体轴向偏轴的部位进行研磨修整。在上述技术方案中,搭配万向平台和研磨砂轮,可以修复切割衬底时由于金刚石线端跳、定角时角度定错等问题而造成的厚度差异过大、表面晶体轴向偏轴的缺陷,使缺陷衬底切割片经过研磨修整后能够重复使用。
附件下载:  (原始资料备查)

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