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专利信息

一种线式PECVD系统【异议或纠错】

档案编号： CQ-316-2473-2138
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第C23C16/50;C23C16/458;C23C16/54;H01L31/18类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明涉及一种线式PECVD系统,它包括第一沉积装置、第二沉积装置以及第三沉积装置；所述第一沉积装置与第二沉积装置之间设有用于基片翻面、转运的第一基片翻面移转装置,所述第二沉积装置与第三沉积装置之间设有用于基片翻面、转运的第二基片翻面移转装置；所述第一沉积装置与第二沉积装置之间设有用于基片载板升降回转的第一载板回转装置,所述第二沉积装置与第三沉积装置之间设有用于基片载板升降回转的第二载板回转装置。本发明的目的在于提供一种线式PECVD系统,在各沉积工序中载板独立循环,防止载板上沉积不同的物质,避免在反应腔中载板沉积物对太阳能电池片造成掺杂。
附件下载：  (原始资料备查)

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