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专利信息

一种适用于PECVD设备的多射频电源输入系统【异议或纠错】

档案编号： CQ-116-2745-9156
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第H01J37/32;C23C16/50;H02M1/00类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明涉及PECVD设备领域,公开了一种适用于PECVD设备的多射频电源输入系统,其包括射频电源、多路射频电源控制器和射频电源馈入点。射频电源设置有两个及以上。多路射频电源控制器上设置有多个连接端口,连接端口分别与各个射频电源一一连接,用于独立控制各个射频电源启停以及调节各射频电源输出射频终端的相位、频率大小。射频电源馈入点位于设备腔室的极板上,并与射频电源的输出端一对一电性连接。本发明将多个低功率射频电源连接到极板的各个腔室馈入点上,叠加输出高功率射频到PECVD腔室,从而使腔室起辉,实现镀膜的效果。相比于使用单个高功率射频电源,具有镀膜更均匀、应用端更成熟、成本低的优势。
附件下载：  (原始资料备查)

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