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一种治具【异议或纠错】

档案编号: CQ-320-7403-4231
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G03F7/20;G03F9/00类
授权状态: 已授权
档案内容: 涉及晶圆载具技术领域,本申请公开一种治具,包括工作台,所述工作台设有至少一个第一凹槽和至少一个用于标胶的第二凹槽,所述第一凹槽的侧壁与晶圆抵接;所述第二凹槽设于所述第一凹槽的外周,且所述第二凹槽与所述第一凹槽相通。本实用新型,利用第一凹槽放置晶圆,方便晶圆在标胶、光刻等工序中完成加工,第二凹槽用于标胶使用,且与第一凹槽相通,能够使得粘胶与晶圆的侧面粘接,且具有较大的粘结面积,保证粘胶标记的完整性和可参照效果。在不同的加工步骤中,通过粘胶标记保证晶圆的放置方位保持一致,保证每次步骤中的标记图形保持重合,从而保证光刻质量。
附件下载:  (原始资料备查)

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