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一种集成芯片及其制作方法和集成电路【异议或纠错】

档案编号: CQ-455-8905-2530
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01L27/06;H01L23/66类
授权状态: 已授权
档案内容: 申请公开了一种集成芯片及其制作方法和集成电路。所述集成芯片包括相连接的砷化镓异质结双极晶体管和LC滤波器,砷化镓异质结双极晶体管包括衬底、外延层、发射极、基极、收集极、钝化层、第一金属层和第二金属层等,LC滤波器包括相连接的电感和电容,电感包括电感绕线和电感端口,电容包括下电极、电容介质和上电极,下电极与所述第一金属层、电感绕线通过同一道制程形成,上电极、第二金属层和电感端口通过同一道制程形成,所述第二金属层与所述电感端口、所述上电极耦合。本申请通过对砷化镓异质结双极晶体管和LC滤波器的集成减小芯片以及产品的体积,提高芯片的性能;还将晶体管和滤波器的相关金属结构同步制程,提高生产效率和芯片性能。
附件下载:  (原始资料备查)

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