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专利信息

一种大尺寸平面金属靶材的制备方法【异议或纠错】

档案编号： CQ-521-0065-5952
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第C23C14/34;B22F9/08;C21D9/00;C22C5/08;C22C19/05;C22C21/02;C22F1/02;C22F1/043;C22F1/08;C22F1/10;C22F1/14;C23C24/04类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明提供了一种大尺寸平面金属靶材的制备方法,包括以下步骤：先将高纯靶材金属用雾化法制成粉末,再采用超音速冷气动力喷涂法,以高纯氩气或高纯氦气作为气动介质,将高纯靶材成分的金属粉喷涂沉积到衬底板上,待涂层沉积到一定厚度后,对坯靶行真空退火以消除冷喷涂过程产生的应力；随后对靶坯进行3-9道次冷轧压延加工,获得设定厚度的板材；将板材校平、机加工至合格尺寸,再按照常规工艺绑定背板,即可制成不同规格的平面靶材。本发明工艺制备的靶材,微观结构致密、无孔隙,晶粒尺寸均匀,晶粒尺寸小于10μm,较好地解决了大尺寸平面靶生产中如何实现靶材中晶粒细小,晶粒尺寸均匀这一工艺控制难题。
附件下载：  (原始资料备查)

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