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专利信息

一种新型PVD载板磁悬浮传动装置【异议或纠错】

档案编号： CQ-570-9205-3799
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第C23C14/50;C23C14/56;C23C16/458;C23C16/54;H01L31/18类
授权状态： 已授权
档案内容： 本实用新型公开了一种新型PVD载板磁悬浮传动装置,包括腔体、PVD载板,所述PVD载板底部两侧固定安装至少一组悬浮永磁,腔体与之对应位置各固定安装至少一排与悬浮永磁相斥的同极永磁,所述腔体内左右两侧各安装至少一组导向永磁,所述腔体上侧装有若干磁流体,且从腔体外传递扭矩至制程腔体内的齿轮,所述PVD载板左上方安装一组齿条与齿轮衔接。本实用新型通过同名磁极之间产生磁斥力的原理,实现PVD载板在输送过程中的支撑力,简化设备传送结构,解决了载板与滚轮间摩擦产生掉粉现象,提高载板使用寿命,亦提高了设备稼动率,降低生产成本和维护成本,从根本上解决了粉尘,提高了镀膜质量,亦避免制程工艺失败,提高了电池片转化效率及生产效率。
附件下载：  (原始资料备查)

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