深圳市森美协尔科技有限公司 访客留言 申请认证

信用网址: 51291898.11315.com   

有限责任公司 成立历史第15 

晶圆测试设备及测试方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-629-8854-8762
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01L21/67;H01L21/66类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明提供一种提高晶圆测试精度的晶圆测试设备及测试方法,包括设备本体和设置在其上的测试机,以及嵌进所述设备本体顶部内倒置的探针卡,所述探针卡与所述测试机电连接,所述设备本体包括:框架;第一移动平台,设置在所述框架内的下部;下显微镜视觉系统和晶圆,均设置在所述第一移动平台上,所述下显微镜视觉系统用于获取所述探针卡的图像,所述第一移动平台可驱动所述下显微镜视觉系统和晶圆沿X、Y、Z三个方向直线运动;第二移动平台,设置在所述框架内的上部,上显微镜视觉系统倒置在所述第二移动平台上,用于获取其下方所述晶圆的图像,所述第二移动平台可驱动所述上显微镜视觉系统沿Y轴或X轴方向直线移动。
附件下载:  (原始资料备查)

相关专利信息信息

评论

您需要登录后才可以发表评论,请 登录注册

打分

说明:
一、所有信息力求客观、真实:以上信息由全国各级政府职能部门、各行业协会(社团组织)、金融机构、主流媒体、信息主体或实名制下的广大消费者(包括交易对方、员工等)客观提供,不含有本征信平台的任何主观评价;
二、信息异议机制:欢迎大家对有异议的信息及时提出,我们将按照《绿盾全国企业征信管理办法》规定对异议进行核实、修正,确保客观、公平;
三、尊重发布者权益,永不"删贴":对于符合国家法律、法规和本征信平台规定的每一条信息,都将客观记录于企业信用档案,参与信用分值计算,并长期保存。

分享到:
绿盾在线
×
=合作留言=
绿盾业务合作
×
  • 马先生
    15652211315
  • 黄先生
    15652011315