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具有高精度升降调节的晶圆检测装置【异议或纠错】

档案编号: CQ-301-0774-5521
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01L21/687;H01L21/66类
授权状态: 已授权
档案内容: 本申请涉及一种具有高精度升降调节的晶圆检测装置。晶圆检测装置包括:安装基座、升降基座、多个轨道组件及卡盘,安装基座具有安装槽;升降基座设置于安装槽内;多个轨道组件环绕升降基座的外周间隔设置,轨道组件包括第一轨道件及第二轨道件且均沿第一方向延伸,第一轨道件设置于安装基座的内侧壁,第二轨道件安装于升降基座的外侧壁,第一轨道件及第二轨道件沿第一方向可滑动连接,以使升降基座可相对安装基座沿第一方向滑动,每个轨道组件的第一轨道件与第二轨道件沿升降基座的径向排布;卡盘可转动设置于升降基座背离安装槽的底壁设置,其中,第一方向为卡盘与升降基座的排布方向。晶圆检测装置对晶圆进行检测具有较高的稳定性及准确性。
附件下载:  (原始资料备查)

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