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专利信息

一种PECVD镀膜载板【异议或纠错】

档案编号： CQ-055-7302-5112
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第H01L21/673;C23C16/458;C23C16/50类
授权状态： 已授权
档案内容： 本实用新型提供一种PECVD镀膜载板,包括支撑框和对支撑框进行承载的载板框架；载板框架包括第一边框、第二边框、第三边框、第四边框和连接块；支撑框包括横杆和竖杆,横杆与竖杆相互交织形成若干镂空部,镂空部上设有承载面；第一边框、第二边框、第三边框和第四边框的各个连接处设有连接块；连接块的下表面设有减震板,减震板与连接块之间形成有间隙,减震板靠近连接块的一面设有固定块,连接块与减震板相邻的一面上设有固定槽,固定块与固定槽相对应；固定块上套设有弹簧,弹簧的另一端嵌入固定槽；通过边框的减震板与弹簧起到减震效果,横杆与竖杆相互交织形成若干镂空部减轻支撑框的重量结构简单,加工简便成本低且加热过程中不易变形。
附件下载：  (原始资料备查)

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