福建金石能源有限公司 访客留言 申请认证

信用网址： 109732781.11315.com   

有限责任公司(台港澳与境内合资) 成立历史第9 年

专利信息

一种硅片载送结构【异议或纠错】

档案编号： CQ-055-7979-0379
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第C23C16/458;C23C16/50;H01L21/677类
授权状态： 已授权
档案内容： 本实用新型涉及一种硅片载送结构,它包括载板框以及容置于载板框内的多个子载板框；所述子载板框由四条子边框组成；每条子边框内侧设有用于承载硅片的第一阶梯凹槽,所述第一阶梯凹槽槽底内侧上设有用于控制硅片与子边框接触宽度的一个以上定位凸点。本实用新型的目的在于提供一种硅片载送结构,解决硅片在载板内出现偏移问题,避免硅片边缘受载板影响而膜层偏薄,影响镀膜质量。
附件下载：  (原始资料备查)

相关专利信息信息

评论

您需要登录后才可以发表评论，请 登录 或 注册

打分

登录

说明：
一、所有信息力求客观、真实：以上信息由全国各级政府职能部门、各行业协会（社团组织）、金融机构、主流媒体、信息主体或实名制下的广大消费者（包括交易对方、员工等）客观提供，不含有本征信平台的任何主观评价；
二、信息异议机制：欢迎大家对有异议的信息及时提出，我们将按照《绿盾全国企业征信管理办法》规定对异议进行核实、修正，确保客观、公平；
三、尊重发布者权益，永不"删贴"：对于符合国家法律、法规和本征信平台规定的每一条信息，都将客观记录于企业信用档案，参与信用分值计算，并长期保存。

分享到:

更多>>视频联播

更多>>绿盾征信系统规则

绿盾在线
×
商务合作
企业服务
征信合作

 

=合作留言=
绿盾业务合作
×
  • 马先生
    15652211315
  • 黄先生
    15652011315