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一种图像传感器及其制造方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-059-8203-9460
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01L27/146类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明提供了一种图像传感器及其制造方法,其中图像传感器包括:衬底,衬底上设置外延层;光电反应区,设置在衬底中和外延层中;电荷存储区,设置外延层中,电荷存储区光电反应区相邻;隔离沟槽,设置在衬底上,隔离沟槽设置在相邻的光电反应区之间,且沿着光线入射方向,隔离沟槽的槽宽递增,其中电荷存储区在衬底上的正投影位于隔离沟槽的槽壁上;以及隔离层,覆盖在隔离沟槽的槽壁上。本发明的提供了一种图像传感器及其制造方法,能够降低寄生光响应,并提升图像传感器的光电响应和光敏度。
附件下载:  (原始资料备查)

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