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感光树脂组合物、图案固化物的制造方法、固化物及其应用【异议或纠错】

档案编号: CQ-064-2205-6229
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G03F7/004类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明涉及感光树脂组合物、图案固化物的制造方法、固化物及其应用。该感光树脂组合物包含:(A)含羟基的聚酰亚胺前体树脂、(B)大分子交联剂、(C)重氮萘醌化合物以及(D)溶剂;所述(B)成分为如下式1所示结构:式(1)中,R-5表示碳数在1-20可包含脂环和/或芳环、其他杂原子的2价有机基团;R-6表示碳数在0-30可包含脂环和/或芳环、其他杂原子的2价有机基团;R-7和R-8表示-OH、-COOH或碳数在2~4的酯基;R-9表示氢、碳数在1~3的烷基或酰基烷基;x+y≥1,z≥2,s和t为正整数。该感光树脂组合物具有高敏感度,所得固化膜具有低应力性、高粘结性、高伸长率,且与基底材料的密合性优异。
附件下载:  (原始资料备查)

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