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一种用于碳化硅晶圆的抛光垫及抛光方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-064-3187-5955
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第B24B37/20;B24B37/24类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明涉及一种用于碳化硅晶圆抛光垫及抛光方法,抛光垫由聚氨酯混合物、固化剂和中空微球体为原料混合固化形成,抛光垫的表面形成多个毛刷状凸起,抛光垫的邵氏硬度满足以下关系:2A-2≤A-1≤5A-2,其中A-1为抛光垫的邵氏硬度数值,A-2为碳化硅晶圆的莫氏硬度数值;所述毛刷状凸起的平均剖面积满足以下关系:S=α;S为所述毛刷状凸起的平均剖面积,单位为μm~2,α为剖面积常数,α满足以下关系:0.2≤α≤1,D为所述中空微球体的平均粒径,单位为μm。与现有技术相比,毛刷状凸起替代无纺布抛光垫的长纤维对碳化硅晶圆的表面进行摩擦,多个毛刷状凸起之间的缝隙用于存储抛光液、运输抛光残渣,有效避免无纺布抛光垫的长纤维造成的应力集中,提高表面加工精度。
附件下载:  (原始资料备查)

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