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一种193nm浸没式光刻用光产酸剂的制备方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-065-8233-9002
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C07C381/12;C07C309/12;C07C227/18;C07C229/50;C07C303/32;C07C67/08;C07C69/753;C07C229/46;C07C69/608;G03F7/004类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种193nm浸没式光刻用光产酸剂的制备方法。本发明的制备方法包括以下步骤:在溶剂中,将化合物II和化合物III进行如下式的成盐反应,得到所述的如式I所示的化合物。含有通过本发明制得的光产酸剂的光刻胶具有分辨率高、灵敏度高和线宽粗糙度低的优点,具有良好的应用前景。
附件下载:  (原始资料备查)

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