上海芯刻微材料技术有限责任公司 访客留言 申请认证

信用网址： 143832551.11315.com   

有限责任公司(外商投资企业法人独资) 成立历史第7 年

专利信息

一种树脂及含其的193nm浸没式光刻胶【异议或纠错】

档案编号： CQ-247-0251-2086
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第C08F220/18;C08F232/08;C08F220/20;G03F7/004类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明公开了一种树脂及含其的193nm浸没式光刻胶。该树脂为由式(A)所示的单体、式(B)所示的单体、式(C)所示的单体和式(D)所示的单体聚合得到的共聚物；其中,以重量份数计,所述式(A)所示的单体的重量份数为42.5-47.5份,所述式(B)所示的单体的重量份数为1-7.5份,所述式(C)所示的单体的重量份数为0.25-2.5份,所述式(D)所示的单体的重量份数为0.25-2.5份。包含本发明树脂的光刻胶至少具有以下优势：感光性优异,聚焦深度(DOF)好以及线宽均匀性(CDU)好。
附件下载：  (原始资料备查)

相关专利信息信息

评论

您需要登录后才可以发表评论，请 登录 或 注册

打分

登录

说明：
一、所有信息力求客观、真实：以上信息由全国各级政府职能部门、各行业协会（社团组织）、金融机构、主流媒体、信息主体或实名制下的广大消费者（包括交易对方、员工等）客观提供，不含有本征信平台的任何主观评价；
二、信息异议机制：欢迎大家对有异议的信息及时提出，我们将按照《绿盾全国企业征信管理办法》规定对异议进行核实、修正，确保客观、公平；
三、尊重发布者权益，永不"删贴"：对于符合国家法律、法规和本征信平台规定的每一条信息，都将客观记录于企业信用档案，参与信用分值计算，并长期保存。

分享到:

更多>>视频联播

更多>>绿盾征信系统规则

绿盾在线
×
商务合作
企业服务
征信合作

 

=合作留言=
绿盾业务合作
×
  • 马先生
    15652211315
  • 黄先生
    15652011315