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一种用于光学引线键合的对准系统及方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-071-8043-0421
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G02B6/42;B05D3/06类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种用于光学引线键合的对准系统和方法,涉及激光技术领域,本对准系统包括曝光装置和控制装置。曝光装置的第一双色镜和第二双色镜以预设角度设置,用于分别接收来自第一激光单元的第一光束和第二激光单元的第二光束,第一双色镜和第二双色镜的出射光分别通过物镜照射到位移台上形成键合光束,第一光束和第二光束叠加可以形成直径较小的键合光束。控制装置包括针尖传感器装置、位移台驱动装置和控制系统,通过针尖传感器装置、控制系统和位移台驱动装置的形成控制闭环,针对光学引线键合装置的键合位置与键合光束的坐标误差进行适时调整,增加对准系统的精度,进而提高光学引线键合的良品率。
附件下载:  (原始资料备查)

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