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专利信息

一种异质结太阳能电池的制造方法【异议或纠错】

档案编号： CQ-076-7768-1505
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第H01L31/18;H01L31/0745类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明属于太阳能电池技术领域,涉及一种异质结太阳能电池的制造方法,它包括如下步骤,A,对半导体基板进行双面制绒；B,在半导体基板表面上形成隧穿氧化层；C,在隧穿氧化层上形成N型多晶硅层；D,在半导体基板向光面的N型多晶硅层上形成掩膜层；E,从半导体基板背光面进行等离子处理。本发明的目的在于提供一种异质结太阳能电池的制造方法,其工艺较简洁,既保持了N型多晶硅层高导电和低设备投资成本的优势,又保持了异质结良好钝化、高开路电压的技术特点。
附件下载：  (原始资料备查)

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