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专利信息

一种具有棒状结构的氧化硅材料及其合成方法与应用【异议或纠错】

档案编号： CQ-094-2038-0158
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第C01B33/12;C01B33/141;C09G1/02;B82Y40/00;B82Y30/00类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明公开了一种具有棒状结构的氧化硅材料及其合成方法与应用,包括：步骤1:制备硅酸；步骤2：制备晶种；在步骤1制得的硅酸中加入纯水、醇和三乙醇胺(或氨水)；所述醇为阻聚剂,所述三乙醇胺或氨水为pH值调节剂,在硅酸、醇类阻聚剂和三乙醇胺(或氨水)的共同作用下,硅酸正常缩聚成核过程受到干扰,制得的晶种呈链状；步骤3：以链状的晶种配制成底液,采用恒液面蒸发法进一步合成长大,链状晶种中比较薄弱的地方发生断裂成棒状结构的颗粒,颗粒进一步长大,得到棒状结构的氧化硅材料,能提高半导体抛光效率,整个合成工艺简单,制得的氧化硅材料金属离子含量低、稳定性好。
附件下载：  (原始资料备查)

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