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专利信息

钽/钯催化氢纯化用耐高温TaVNb/TaVNbHfZr复合梯度阻挡层制备工艺【异议或纠错】

档案编号： CQ-095-0334-0435
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第C23C14/35;C23C14/16类
授权状态： 已授权
档案内容： 一种钽/钯催化氢纯化用耐高温TaVNb/TaVNbHfZr复合梯度阻挡层制备工艺,包括沉积前处理、偏压反溅清洗和沉积TaVNb/TaVNbHfZr复合梯度涂层等步骤。复合涂层的制备包括：制备TaVNb梯度过渡层,沉积时向真空室内通入Ar气,其流量为46 sccm,溅射工作气压为0.36 Pa,沉积的TaVNb过渡层中,Ta元素百分含量沿厚度方向从100 at%～34 at%梯度变化,V元素百分含量沿厚度方向从0 at%～33 at%梯度变化,Nb元素百分含量沿厚度方向从0 at%～33 at%梯度变化；真空条件下制备TaVNbHfZr涂层,沉积的TaVNbHfZr高熵阻挡层中Ta、V、Nb、Hf、Zr元素原子百分比介于10 at%～35 at%,且阻挡层相结构简单,结合力良好,表面致密均匀,具有高强度、抗高温Pb/Ta膜层互扩散等性能,为H-2高纯化Pb/Ta膜系抗高温扩散及热稳定性能提供了新的技术途径。
附件下载：  (原始资料备查)

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