上海矽睿科技股份有限公司 访客留言 申请认证

信用网址： 112472146.11315.com   

其他股份有限公司(非上市) 成立历史第13 年

专利信息

传感器制备方法及传感器【异议或纠错】

档案编号： CQ-100-1428-6630
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第B81C1/00;B81B5/00;B81B7/02;B81B7/00类
授权状态： 已授权
档案内容： 本申请涉及一种传感器制备方法及传感器,传感器包括第一晶圆、第一牺牲层、第二牺牲层、第一导电层及底层结构,第一晶圆形成有可动结构,第一导电层形成有朝向第一晶圆的第一凸起和第二凸起,第一凸起与第一晶圆相抵接,第二凸起与可动结构中的至少部分相对。在沉积第二牺牲层时形成凹陷,然后再沉积第一导电层时形成朝向第一晶圆的第二凸起,第二凸起与第一晶圆中的可动结构相对,而且在后续可动结构震动的过程中,第二凸起能够与可动结构相抵接,以对可动结构产生阻挡作用,从而减小可动结构的震动幅度,避免可动结构因震动幅度过大导致器件层的结构发生过度变形或粘连,进而确保传感器的可靠性。
附件下载：  (原始资料备查)

相关专利信息信息

评论

您需要登录后才可以发表评论，请 登录 或 注册

打分

登录

说明：
一、所有信息力求客观、真实：以上信息由全国各级政府职能部门、各行业协会（社团组织）、金融机构、主流媒体、信息主体或实名制下的广大消费者（包括交易对方、员工等）客观提供，不含有本征信平台的任何主观评价；
二、信息异议机制：欢迎大家对有异议的信息及时提出，我们将按照《绿盾全国企业征信管理办法》规定对异议进行核实、修正，确保客观、公平；
三、尊重发布者权益，永不"删贴"：对于符合国家法律、法规和本征信平台规定的每一条信息，都将客观记录于企业信用档案，参与信用分值计算，并长期保存。

分享到:

更多>>视频联播

更多>>绿盾征信系统规则

绿盾在线
×
商务合作
企业服务
征信合作

 

=合作留言=
绿盾业务合作
×
  • 马先生
    15652211315
  • 黄先生
    15652011315