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MEMS传感器、薄膜力敏谐振元件及其制造方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-101-8872-8217
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第B81C1/00;B81B7/02;G01L1/16类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种MEMS传感器、薄膜力敏谐振元件及其制造方法。在本发明的技术方案中,在衬底上开设空腔,并将压电层图形化形成沿第一方向间隔设置的第一锚点和第二锚点,以及连接在所述第一锚点和所述第二锚点之间的两个振梁,本申请通过设置两个间隔设置的振梁,两个振梁在振动时会有时间差,因此其产生的电信号也存在时间差,相比于单根振梁,两个交替产生的电信号之间的时间间隔更短,因此提高了电信号的输出频率,同时使第一锚点与衬底连接,第二锚点和两个振梁悬空设置,使得压电层对于环境的变化感知更加灵敏,提高了压电层的压电模量。
附件下载:  (原始资料备查)

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