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专利信息

一种准分子激光器位置调节机构【异议或纠错】

档案编号： CQ-109-0989-7487
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第H01S3/101;H01S3/03类
授权状态： 已授权
档案内容： 本申请涉及一种准分子激光器位置调节机构,属于准分子激光器技术领域。包括:准分子激光器,该准分子激光器包括机架,机架内设有准分子激光腔室；位置调节机构,该位置调节机构设有两组,两组位置调节机构分别固定在准分子激光器底部的两端；位置调节机构包括驱动准分子激光器沿水平方向移动的水平调节器,以及驱动准分子激光器沿竖直方向移动的竖向调节器。本申请的两组位置调节机构的水平调节器和竖向调节器分别通过水平方向运动和竖直方向运动实现准分子激光器四个自由度方向运动。本申请解决了大质量准分子激光器的装配调节和光路对准问题,位置调节机构通过单人手动或自动即可使大质量准分子激光器与光路系统精确对准。
附件下载：  (原始资料备查)

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