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一种用于多site并行测试的测试机台防呆方法及装置【异议或纠错】

档案编号: CQ-109-6241-1779
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G01R31/26类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明涉及半导体晶圆测试领域,提供了一种用于多site并行测试的测试机台防呆方法,包括:当测试机台的cable线与测试板的site连接后,通过测试机台测试每个所述site的电压值;判断每个所述site的电压值是否符合预期电压值;若所述site的电压值不符合预期电压值时,发出基于所述site的编号以及与所述site连接的cable线的编号进行现场检查的提示,以使所述site的电压值符合预期电压值;当所述site的电压值符合预期电压值后,所述测试机台通过防呆测试。
附件下载:  (原始资料备查)

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