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一种碳化硅晶片批量化高温退火装置【异议或纠错】

档案编号: CQ-111-9197-4635
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C30B33/02;C30B29/36类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型公开一种碳化硅晶片批量化高温退火装置,包括炉体外壳、加热器、发热件、保温层和晶片支架,炉体外壳上设有第一腔室门和第二腔室门,并与炉体外壳构成腔室,加热器环绕于炉体外壳的外侧,发热件、保温层和晶片支架从第一腔室门和/或第二腔室门放入腔室内,保温层设于发热件的四周,发热件为筒状结构,晶片支架可放置至少一片碳化硅晶片并放入发热件内部,晶片支架的放置尺寸可根据每一批次的碳化硅晶片的尺寸调整,第一腔室门上设有进气口和第一测温接口,第二腔室门上设有出气口和第二测温接口。该退火装置满足各种高温、高电压和高功率碳化硅器件的退火工艺,具有退火温度高、温度精确可控、腔室压强范围可调和腔室洁净度高等优点。
附件下载:  (原始资料备查)

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