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有限责任公司(台港澳与境内合资) 成立历史第

一种连续加料真空蒸发镀膜源系统【异议或纠错】

档案编号: CQ-115-5354-4473
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C23C14/24;C23C14/54类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型公开了一种连续加料真空蒸发镀膜源系统,由若干个真空蒸发镀膜源沿膜宽方向二排平行且间隔交错排布,所述真空蒸发镀膜源包括全自动加料装置、可控熔融装置和感应蒸发装置,所述全自动加料装置由送丝机、金属丝、送丝盘、送丝盘支架组成,所述可控熔融装置由隔热进料嘴、陶瓷管、陶瓷管加热线圈组成,所述陶瓷管设有三个功能段,中间段外圈缠绕陶瓷管加热线圈,所述感应蒸发装置由石墨坩埚、坩埚加热线圈、保温层组成,所述石墨坩埚内壁上设有坩埚液位传感器。通过控制送丝机精准补料,物料成本更低,工作可靠性更高,后期维修维护也更方便,提高工作效率,可根据产品膜宽,相应增减蒸发镀膜源,提高设备镀膜兼容性。
附件下载:  (原始资料备查)

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