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一种具有吸附固定功能的抛光垫清洁设备【异议或纠错】

档案编号: CQ-123-4208-2404
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第B24B55/06;B24B41/00;B24B49/00;B08B1/02类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型涉及一种具有吸附固定功能的抛光垫清洁设备,抛光垫清洁设备包括工作台、设于工作台上的抛光垫固定台和清洁组件;抛光垫固定台上设有用于放置抛光垫的承载面,承载面上分布有多个气孔,气孔用于与真空泵连通;清洁组件包括清洁支架和清洁刷,清洁支架分别与工作台、清洁刷连接,清洁刷与抛光垫固定台相对设置,用于与抛光垫抵接摩擦。与现有技术相比,该抛光垫清洁设备由于抛光垫固定台上设有气孔,气孔可以与真空泵连通,通过吸力将抛光垫紧密固定在承载面上,避免清洁刷的摩擦力带动抛光垫移动,使清洁刷与抛光垫充分摩擦接触,带走抛光垫表面和凹槽中碎渣,有效提高清洁效率。
附件下载:  (原始资料备查)

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