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专利信息

一种用于防止硅片排片时撞片的吹片装置及其硅片排片机【异议或纠错】

档案编号： CQ-127-1451-2962
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第H01L21/67;H01L21/677类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明公开的一种用于防止硅片排片时撞片的吹片装置及其硅片排片机,包括对水槽中清洗处理后的硅片依次连续水平传送至硅片插片花篮处的输送线；花篮处的输送线上硅片下侧设置有多个对硅片外缘及中心分别吹气、用于吹除硅片吸附的清洗水及气动吹浮承托硅片防止外缘弯曲的气嘴；所有气嘴通过管路与设置的气源泵连通,管路上还设置有对对应气嘴的喷气压力进行调节的气压调节阀；通过气嘴有效的吹除硅片下表面吸附的清洗水,缓解硅片在花篮中的弯曲度,以及气动吹浮的承托硅片外缘四角防止外缘弯曲,防止硅片四角翘曲和便于有序排片。
附件下载：  (原始资料备查)

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