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一种大尺寸硅片切割砂浆液浓度自动调节系统【异议或纠错】

档案编号: CQ-248-6229-0363
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第B28D5/04;B28D7/00类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开一种大尺寸硅片切割砂浆液浓度自动调节系统,包括检测执行系统和控制系统,所述检测执行系统包括检测模块、浓度监测模块、排液模块和补液模块,所述控制系统包括显示器、参数设定模块、调控模块和搅拌模块;本发明通过对砂浆液浓度的自动检测和调控可以不停机实现自动化循环补液功能,提高硅片切割效率和切割质量,减少断线、厚薄、线痕等异常的发生,在增效提质方面取得明显的效果。
附件下载:  (原始资料备查)

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