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一种准分子激光器放电腔结构【异议或纠错】

档案编号: CQ-132-7814-1483
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01S3/03;H01S3/038;H01S3/036类
授权状态: 已授权
档案内容: 本申请涉及一种准分子激光器放电腔结构,包括:放电腔体,该放电腔体为封闭的卧式空心筒体结构,放电腔体的顶部开设有进气口和排气口;放电腔室,该放电腔室可拆卸密封连接在放电腔体的顶部,且通过进气口和排气口与所述放电腔体相通;放电极对,该放电极对包括固定在放电腔室内的阴极电极和位于放电腔室内且与放电腔体固定连接的阳极电极。本申请的设置了相互可拆卸连接的放电腔体和放电腔室,当放电极对随着工作时间的延长被逐渐被气体“腐蚀”和长期的电子轰击造成电极材料的“蒸发”后,通过拆卸放电腔体上的放电腔室即可快速取出和更换放电极对,整个过程简单快捷,降低了准分子激光器的使用成本。
附件下载:  (原始资料备查)

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