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一种滤波器及其制备方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-233-3123-1880
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H03H9/02类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明提供一种滤波器及其制备方法。制备方法如下:提供基板,在基板上形成若干个第一凹槽;在各第一凹槽中形成牺牲层;在基板与各牺牲层上形成支撑层,并对各支撑层采用同一次构图工艺,以在对应各牺牲层的位置处形成若干个镂空图形,其中,至少一个支撑层上所形成的镂空图形不同于其他支撑层的镂空图形;在各镂空图形内形成填充材料,以获得填充图形;在各支撑层上形成压电堆叠结构;释放牺牲层,以形成谐振器,级联各谐振器,以完成滤波器的制备。该方法实现了同一滤波器中具有多个不同谐振频率的谐振器的情况,这一制备方法降低了多次刻蚀的工艺难度和成本,提高了设计灵活度。
附件下载:  (原始资料备查)

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