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一种用于清理热场石墨件的激光设备及其使用方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-248-6229-3781
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第B08B7/00;B08B13/00类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明涉及单晶硅加工技术领域,具体涉及一种用于清理热场石墨件的激光设备及其使用方法,本设备采用移动平台便于工作人员将整个设备进行转移搬运;摆臂的设计,便于工作人员对于不同热场石墨件的位置进行相应调整,提高了使用的便利性。利用旋转架带动激光装置围绕热场石墨件转动,配合激光装置射出的激光的进行清理,清理过程高效。激光装置与热场石墨件之间采用无接触式的清理方式,可以避免清理过程对热场石墨件的损坏。设计升降装置来调节激光装置的高度,这样可以适应不同高度的热场石墨件的表面清理;而利用旋转机构来调节激光装置的空间摆角,便于清理热场石墨件的顶部、底部、侧面缝隙中的杂质,提高清理的效率和保证清理质量。
附件下载:  (原始资料备查)

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