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一种垂直式结构碳化硅高温退火炉装置【异议或纠错】

档案编号: CQ-248-6297-8688
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C30B33/02;C30B29/36类
授权状态: 已授权
档案内容: 本申请涉及一种垂直式结构碳化硅高温退火炉装置,包括沿垂直上下设置的上腔室及下腔室,所述上腔室内设置一炉体,所述上腔室在炉体的两端分别设有第一腔室门及第二腔室门;在所述炉体外侧环设一加热器,并在所述炉体内在相对所述加热器处设置一两端开口的发热筒,所述炉体内侧在发热筒处环设一保温层;所述第二腔室门在其朝内的一面上竖直向上依次固定有石英支撑座、石墨隔热片和晶片支架;在所述上腔室内设置有驱动所述第二腔室门开启及关闭的升降装置,所述第二腔室门关闭时所述晶片支架置于所述发热筒内部;所述第二腔室门开启时所述晶片支架置于所述下腔室内;本高温退火炉装置具有退火温度高、降温速度快和不易污染等优点。
附件下载:  (原始资料备查)

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