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专利信息

一种长晶炉硅晶加工监控方法、装置及系统【异议或纠错】

档案编号： CQ-249-6080-9627
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第C30B15/26;C30B29/06类
授权状态： 已授权
档案内容： 本申请提供一种长晶炉硅晶加工监控方法、装置及系统,其中的方法包括：获取长晶炉内部的硅晶生长监测图像；对所述硅晶生长监测图像进行解析,确定所述硅晶生长监测图像中包括的硅晶的直径和生长高度；根据所述硅晶的直径和所述生长高度生成硅晶生长图像并显示。由此,本申请提供的技术方案能够对长晶炉内的硅晶加工过程的实时监控,便于根据硅晶生长过程对工艺过程进行控制和调节,确保硅晶生长结果满足需求。
附件下载：  (原始资料备查)

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