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芯片式拉曼光谱仪【异议或纠错】

档案编号: CQ-252-0515-9271
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G01N21/65类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明提供一种芯片式拉曼光谱仪,包括:包含耦入光栅阵列、干涉仪阵列及耦出光栅阵列的静态干涉仪芯片,图像传感器芯片及一个复合抛物面聚光镜;耦入光栅阵列包括若干个依次一一对应连接的耦入光栅、第一锥形平面波导及第一条形波导;每个第一条形波导与干涉仪阵列中的弯曲波导一一对应连接,且相互平行排列为一排;干涉仪阵列包括若干个弯曲波导、直波导以及设置于直波导两端的反射镜;耦出光栅阵列包括若干个一一对应连接的第二条形波导、第二锥形平面波导及耦出光栅;每个第二条形波导与干涉仪阵列中的弯曲波导一一对应连接,且相互平行排列为一排。本发明的芯片式拉曼光谱仪,有效提高了光谱仪的输入光通量,并且简化了输入信号光线与耦入光栅阵列之间的对准结构。
附件下载:  (原始资料备查)

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