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一种散热抛光垫及其制备方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-252-3585-1702
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第B24B37/24;B24B37/22;B24D11/00类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明涉及一种散热抛光垫及其制备方法,抛光垫包括抛光层,上述方法包括如下步骤:将聚氨酯混合物固化形成抛光层;聚氨酯混合物包括聚氨酯预聚物、固化剂、微球体和改性石墨烯,改性石墨烯包括羟基化石墨烯和氨基化石墨烯中的至少一种;微球体为中空球体,微球体包括乙烯的共聚物及均聚物、聚丙烯腈、聚碳酸酯、硅酮树脂和聚酯中的至少一种。与现有技术相比,上述方法通过在抛光层中添加石墨烯、微球体提高聚氨酯的热传导性能,提高了抛光垫的散热性能,通过改性石墨烯上的羟基、氨基进一步提高石墨烯、微球体在抛光层中分散性能,提高了抛光垫散热均一性,进而降低了晶圆抛光温度,提高了晶圆表面抛光质量。
附件下载:  (原始资料备查)

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