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一种具有表面强化的氮化铝覆铝陶瓷基板制备方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-252-9482-7483
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C04B41/90类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明涉及半导体制备技术领域,具体是一种具有表面强化的氮化铝覆铝陶瓷基板制备方法。本发明通过在覆铝陶瓷基板表面进行清洗、印刷银铝浆料,得到覆铝陶瓷基板A。再将覆铝陶瓷基板A进行真空烧结,得到覆铝陶瓷基板B。再对将覆铝陶瓷基板B进行表面抛刷、均质处理,得到覆铝陶瓷基板C。再将覆铝陶瓷基板C依次进行表面抛刷、浸锌、酸洗、二次浸锌,制备得到覆铝陶瓷基板D。最后对覆铝陶瓷基板D表面进行化学镀镍,制备得到成品。本发明制备得到的成品具有良好的表面硬度,可以有效减少表面形变,并且均质处理可以有效减少表面的区域性坑洞,提升综合性能。
附件下载:  (原始资料备查)

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