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一种MEMS凸块制造实现倒装结构【异议或纠错】

档案编号: CQ-256-4153-1554
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第B81B7/02类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种MEMS凸块制造实现倒装结构,属于微机电系统技术领域,包括PCB板,所述PCB板的上端中间设置有MEMS芯片,MEMS芯片的底部四周设置有焊接凸块,PCB板的表面两侧对称设置有若干开窗焊盘,焊接凸块与开窗焊盘之间通过导电焊料连接,PCB板中间设置有与两端开窗焊盘连接的导电体,本发明具有良好散热性能,MEMS制造焊接凸块,实现倒装结构后,芯片焊接凸块直接与PCB焊盘相连,属于大面积金属结合,热阻低,导热面积大,散热性能好;本发明生产成本低,倒装工艺不需焊线工艺,装片完成后便可塑封,只有两个环节,节约人工成本以及设备成本,制程效率提高,总体生产成本低。
附件下载:  (原始资料备查)

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