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一种离子束溅射镀膜用镀膜机、遮挡板及均匀性修正方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-260-0691-0105
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C23C14/46;C23C14/04;C23C14/50;C23C14/54类
授权状态: 已授权
档案内容: 本申请涉及一种离子束溅射镀膜用镀膜机、遮挡板及均匀性修正方法,涉及镀膜的技术领域;离子束溅射镀膜用镀膜机包括工件盘,用于固定基片;遮挡板,位于工件盘下方,用于遮挡部分由沉积系统轰击靶材系统产生的薄膜材料;定位底座,用于安装遮挡板;调节件,与定位底座连接,用于调节定位底座位于镀膜腔室内与工件盘的相对位置;遮挡板包括第一MASK金属板和第二MASK金属板,本申请具有降低膜层均匀性分布差异的效果。
附件下载:  (原始资料备查)

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