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一种氮化铝基板清洗卡槽治具【异议或纠错】

档案编号: CQ-260-5344-1474
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H05K3/00类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型公开了一种氮化铝基板清洗卡槽治具。包括框架、设置在框架内的固定单元,所述固定单元包括顶部挡条、底部挡条,顶部挡条两端可移动地设置在框架顶边上,底部挡条设置在框架内腔底部,顶部挡条以底部挡条为中心对称设置;所述顶部挡条两侧设置有齿形卡槽,齿形卡槽的结构与氮化铝基板结构相配合,相邻的顶部挡条间的齿形卡槽对齐,每对卡槽与底部挡条形成三点定位。本实用新型基板竖直定位在齿形卡槽中,有效避免了基板在清洗和摆放时造成的相互擦碰、划伤等问题,同时基板间的空隙也使孔壁与清洗剂接触更充分,提高了清洗效果。
附件下载:  (原始资料备查)

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