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一种晶圆抛光装置【异议或纠错】

档案编号: CQ-268-3353-9659
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第B24B27/00;B24B29/02;B24B47/12;B24B47/16;B24B47/20;B24B53/007;B24B55/06;B24B55/12类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了存储器件生产技术领域的一种晶圆抛光装置,该发明中通过设置中空连接杆、复位弹簧、挤压板、扭簧和清理板,当中空连接板继续向右转动时,抛光盘与清理板接触,并在抛光盘横向挤压的作用,使清理板向右转动,对晶圆表面进行率先清理,保证晶圆表面的整洁,避免晶圆表面留有废料,提高抛光精度,同时抛光盘开始对晶圆表面进行抛光,推动板沿着挤压板底端的平行面运动,保证抛光的稳定性,当结束对晶圆表面进行抛光后,在复位弹簧的作用下,抛光盘向上运动,脱离晶圆表面,同时在扭簧的作用下,清理板复位并作用在抛光后的晶圆表面,对其表面进行清理,保证晶圆表面的整洁,为下次抛光做准备,提高抛光精度。
附件下载:  (原始资料备查)

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