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专利信息

电容式MEMS麦克风及其制造方法【异议或纠错】

档案编号： CQ-275-5943-6967
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第H04R19/04;H04R31/00类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明涉及一种电容式MEMS麦克风及其制造方法,所述麦克风包括第一麦克风结构和第二麦克风结构；所述第一麦克风结构包括：第一电极层；第二电极层；第一支撑部,设于所述第一电极层和第二电极层之间；第一连接部,设于所述第二电极层的与所述第一支撑部相背的一面；所述第二麦克风结构包括：第三电极层；第四电极层；第二支撑部,设于所述第三电极层和第四电极层之间；第二连接部,设于所述第四电极层的与所述第二支撑部相背的一面；其中,所述第一连接部的表面与所述第二连接部的表面键合连接。本发明能够获得更大的电容器有效面积,因此能够提高麦克风的灵敏度与信噪比,并且通过键合的方式得到的电容式MEMS麦克风制造成本低。
附件下载：  (原始资料备查)

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