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一种图像传感器及其制备方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-278-8154-9597
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01L27/146类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种图像传感器及其制备方法,属于半导体技术领域。图像传感器至少包括:衬底;光电感应区,设置在衬底内;电荷储存区,设置在光电感应区一侧的衬底内;浮置扩散区,与电荷储存区设置在光电感应区的同一侧的衬底内;漏极,设置在光电感应区远离电荷储存区一侧的衬底内;多个第一栅极,并列设置在光电感应区和电荷储存区之间的衬底上;第二栅极,设置在浮置扩散区与电荷储存区之间的衬底上;第三栅极,设置在光电感应区和漏极之间的衬底上;以及多个全局曝光传输晶体管,每个全局曝光传输晶体管中包括至少一个第一栅极。通过本发明提供的图像传感器及其制备方法,能够避免电子回流至光电感应区,改善图像残影问题。
附件下载:  (原始资料备查)

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