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专利信息

纳米压印方法及纳米压印模具【异议或纠错】

档案编号： CQ-279-3786-2276
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第G03F7/00类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明提供一种纳米压印方法,包括将工作模具和形成有压印胶层的基板置于密封腔室中,向密封腔室中引入工作气体以置换环境气体,所引入的工作气体相对于原有的环境气体在压印胶层中具有更大的溶解度；随后,使工作模具以其微纳结构与压印胶层贴合的状态下,向工作模具和基板中的至少一者施加压力,致使压印胶层发生形变而填充微纳结构之间的孔隙,将微纳结构转印到压印胶层中。本发明利用置换气氛组成的方式,使压印胶层压入工作模具中所捕获的气体能够在工作模具的孔隙填充过程中被溶解,极大程度地减小产生气泡的概率,抑制气泡所引起的图形缺失,提高了图形加工精度,提升产品良率,不会明显增加压印过程的成本和时间。
附件下载：  (原始资料备查)

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